名稱：磨輪 型號：GF01 - SD 360 - VS - 100

　　產品特點：能夠高效率地向加工部位供給研削水。從而獲得穩定的研削性及磨輪使用壽命。

　　· 通過采用新開發的金屬磨輪圈，能夠高效率地向加工部位供給研削水

　　· 可使用與IF系列產品相同的結合劑

　　· 具有優越的加工精度和穩定的研削力

　　· 采用Φ200由PP(聚丙烯制成)制成，Φ300由ABS樹脂制成，具有優良回收性，低粉塵產生的樹脂包裝，并且也可用于無塵室。



　　通過各種結合劑與不同顆粒大小的組合， 實現了晶圓背面膜層及超薄研削加工的穩定性。

　　粗研削加工用

　　加工時不易受到工作物表面的氧化層及氮化層的影響，可實現穩定的研削加工。

　　· VS : 標準型

　　· BT300 : 兼顧加工質量和使用壽命型

　　· BT100 : 超薄研磨適型

　　精研削加工用

　　通過采用樹脂結合劑，大幅度降低對晶圓的損傷，使研削加工更趨于穩定。另外，還改善了晶圓厚度精度(TTV)及表面粗糙度，并且在兼顧使用壽命的同時，還提高了研削加工質量。



綜上所述，DISCO劃片機磨輪的作用是對硅片進行磨削、拋光、清洗和穩定支撐，以得到高質量的劃片效果

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